摘要:先进集成电路制造工艺创新与智能化生产体系建设,是推动新一代信息技术产业升级、增强产业链自主可控能力的重要战略方向。随着人工智能、高性能计算、智能终端、汽车电子以及工业互联网等领域快速发展,集成电...